Male Nut  不锈钢VCR公螺母 高纯气体硬密封 EP级仪表接头

电子特气材料具体包括半导体前驱体材料/旋涂绝缘介质(SOD)、电子特气、半导体材料输送系统

(LDS)、光刻胶和球形硅微粉等业务种类。产品主要应用于集成电路芯片制造的旋涂、化学气相沉

积及原子层沉积等成膜工艺，集成电路清洗、刻蚀，集成电路封装等。

VCR接头材质上，接管（Gland）、本体（Body）和螺母（Nut）的材质一般为SUS316 或SUS316L。

垫片（Gasket）的材质一般为 SUS316L镍或铜（铜垫片现在基本不使用），垫片有镀银和不电镀之分。

VCR内螺纹螺母（FemaleNut）的内螺纹经过镀银处理，以防止磨损。

Male Nut  不锈钢VCR公螺母 高纯气体硬密封 EP级仪表接头

气体行业的主要产品包括氧气、氢气、一氧化碳、氮气等等重要的大宗工业原料，对纯度要求并

不高。后随着电子工业等高新技术的发展，出现了电子气体及其它特殊用途的高纯气和混合气，

统称为特种气体。由于特种气体是当时的新兴行业，涉及的气体品种繁多，应用范围又很广，各

国对特种气体没有形成统一的定义和分类。近10年，国内电子气体不断实现高端品种的技术突破，

与国外的技术代差逐渐缩小，外资气体公司在华的垄断格局松动，国产气越来越多地进入下游大

客户的供应链。

净系统、超高真空系统及高压系统。因为采用了金属密封元件，VCR接头的额定工作温度范围比较广（

采用SUS316L垫片的 VCR接头，温度额定值可达537℃）。VCR接头便于安装，具有最小拆卸间隙，可

以反复拆装（拆卸后重新安装需要更换新垫片）。

1、安装步骤

安装前要确保TUBE管连接端的表面没有缺陷（无凹陷、凸起或刮痕等），端面经切割和平口成90

度，并且去除了管内外毛刺。

VCR接头安装步骤：

（1）需要连接的VCR组件如图1所示。

（2）分别将外螺纹螺母（Male Nut）和内螺纹螺母（Female Nut）套在接头（Gland）上，然后分别同需要连接的TUBE管自动焊接

（3）安装金属垫片：如果是带爪垫片，将垫片卡在Gland上（注意不要划伤Gland的密封面）；如果是无爪垫片，将垫片放进Female Nut内。

（4）用手指拧紧内、外螺母。

（5）用记号笔在内、外螺母的六角头上划线做记号。

（6）用一个扳手固定外螺纹螺母，另一个扳手向内拧紧内螺纹螺母1/4圈

我国电子气体市场大部分由几大国际巨头所占据，高端气体更是几乎完全依赖进口，一方面价格

昂贵，进口气价格一般会达到国产气的2-3倍甚至更高，增加IC产业制造成本，削弱了我国IC产业

的竞争力;另一方面某些核心尖端气体海外巨头对我国实施各种封锁限制，供应情况受国际关系影

响，对我国国家安全及经济发展构成威胁。此外，很多电子气体本身属于危险化学品，进口手续

繁琐、周期长，且某些电子气体性质不稳定自发分解，或强腐蚀长时间放置杂质含量提高，漂洋

过海进口本身就存在诸多不便。