商铺名称：昆山迪凯睿机械科技有限公司
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商品详情
IPV，3PV，APC类型
·一步到位的精准动作。
·简单，构成组件少，拥有紧凑型节省空间的设计。
·标准规格拥有50万次动作的设计寿命，高耐久，无需检修的设计。
·阀体的密封件一律采用O型圈。为降低成本做出贡献。
·阀体的拆解只需松开1根螺栓即可。
APC控制盒
·搭载可以计算出腔室容积的LEARN功能。
·可实现高速的正确压力控制，位置控制。
·可同时连接2台压力传感器。
·排气系列门阀：真空泵－腔室之间的门阀，也有作为控制压力的阀门使用。
·搬运系列门阀：作为各作业（晶片或玻璃基板etc）的出入口，用于空气－腔室之间的隔断。
半导体?液晶屏制造装置
半导体?液晶屏制造装置
用真空门阀的应用案例介绍
用真空门阀的应用案例介绍
Exhaust System Gate Valve
（Penduroll Valve）
·和APCPenduroll阀配合可以实现电导系数到0的控制。
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