革新软光刻工艺:高精度CO2激光切割机赋能PDMS微流控器件高效制造
PDMS微流控器件的精密加工直接决定产品性能。我司专业级CO2激光雕刻切割机,专为PDMS(聚二甲基硅氧烷)微流控器件开发,以非接触式低温加工技术突破传统软光刻局限,实现微模具雕刻与器件切割的一体化精密制造。
PDMS加工核心技术突破
1. 低温精细雕刻
采用10.6μm波长CO2激光配合脉冲调制技术,能量精准聚焦于PDMS表面,热影响区<10μm。避免材料硫化变形,确保微通道复刻精度,提升器件密封性。
2. 微流道无损伤切割
动态能量控制系统,最小切割线宽30μm,切口光滑无毛刺。消除机械应力导致的PDMS层离或拉伸变形,器件成品率提升至98%以上。
3. 模具-器件双工艺集成
单设备完成PDMS模具雕刻与器件轮廓切割:
模具雕刻深度精度高
器件切割重复定位精度高
无缝衔接原型开发到小批量生产
为下一代微流控技术奠基
无论是构建类器官芯片、微生理系统,还是开发微流控诊断卡,本设备均可提供从模具雕刻→器件成型→表面改性的全流程解决方案。通过模块化扩展,兼容玻片打标、PMMA辅助层加工等工艺。