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AS金刚石砂轮由于粘结系统的多孔性,不会在基板表面造成划痕:
1.使用我们的玻璃粘结和混合粘结金刚石砂轮,实现高的表面质量和提高的效率,从而提高产量和缩短循环时间。
2.Meister Abrasives为半导体行业提供的尖端产品解决方案具有同类佳的总表面轮廓(Sa, Sz, 曲率, 扭曲, TTV),这使我们能够在个位数埃的范围内实现表面质量。无论是玻璃粘结还是混合粘结,我们独特的砂轮由于粘结系统的多孔性,不会在基板表面造成划痕。低磨削力有助于减少碎片、诱导应力和亚表面损伤。
3. Meister磨料的砂轮具有自我磨锋功能,因此,避免了堵塞、钝化和耗时的修复程序。通过缩短循环时间、提高表面质量以及提高晶圆减薄和背面研磨的处理量,制造商实现了具有竞争力的总拥有成本。
德国AS金刚石砂轮作用:
氮化硼金刚石减薄和背面抛光
为了在晶圆减薄过程中达到对精度和表面质量的高要求,Meister Abrasives的工程师开发了带有金刚石颗粒的超硬磨具,这些磨具集成在玻璃粘结或混合粘结基质中。
我们的砂轮有以下技术:UltraCut DIA、UltraFine DIA、CleanCut DIA。