1) 加热：采用导热油间接加热方式。槽体下部外附一个加热油包，外置一个导热油加热箱，首先由发热管对导热油进行加温，再通过泵浦将加热油输送到加热油包，经过热交换后再输送回加热箱加热，如此循环。

2) 需要回收的清洗剂经过泵抽入真空蒸馏回收槽，进入真空回收槽之前，首先进入一个热交换筒，在此与蒸馏回收的HC蒸汽管进行热交换。经过抽真空后，清洗剂迅速沸腾并蒸发，产生HC蒸汽，然后可在冷凝区进行冷凝回收，回收的纯净清洗剂排入储液槽，循环使用，具有自动补液循环和漂洗使用功能。

3) 强力真空减压系统，配备真空减压泵，真空显示表。真空马达为西门子，设有电磁阀。常温常压下，碳化水素的沸点为172℃，减压情况下，可以降低沸点，高温碳化水素在减压条件下迅速形成HC蒸汽，被真空泵一起抽出回收槽，在冷却箱内再形成液体，经过活性碳过滤，称为再生液，可以循环使用。

碳氢真空清洗干燥机经过碳氢真空清洗机的清洗，完全可以达到精密工业部件的清洗要求