产品用途
适用于 2寸～6寸硅片去胶清洗

整机构造
骨架：进口10mmPP板，优质不锈钢骨架，外包3mmPP板防腐；
外壳：进口10mmPP板；

安全门：采用透明上下推拉门；
管路：管路位于下后部，以节省空间，采用英制接口；
灭火系统：烟热感应CO2自动灭火系统位于工作台面上部；
排风：根据流体学原理设计位于机台后上部，并配有导流和风量调节装置；
工作照明：机台上方配照明（与工作区隔离）；
台面板为优质不锈钢材质（带有漏液孔）；
DI/N2 GUN：可伸缩的DI水枪和气管各2把，分置于工作区两侧；
人机界面：Touch Screen彩色界面；
支脚：有滑轮装置和固定装置，可调整高度和锁定；