1.分辨率：

加速电压15kv

工作距离＝4.0mm  ……………………………1.0nm             

加速电压1kv

工作距离＝1.5mm  ………………………… 2.0nm

2.倍率：

高倍率模式  ………………………………… 100×到800,000×

低倍率模式  ………………………………… 30×到2,000×

3.电子光轴：

（1）电子枪…………………………………冷阴极场放射式

（2）引出电压（vext）……………………0到6.5kv

（3）加速电压（vacc）……………………0.5kv到30kv（100v/阶段）

（4）镜体……………………………………3-镜台电子磁控式镜体，逐级收束式

（5）物镜孔片………………………………可移动式孔片（4个开孔可选择/镜体外可调式）

（6）像散修正线图

（像散修正器）………………………电子磁控式

（7）扫描线圈………………………………2-镜台电磁-偏向式

4.样品台

5.显示单元

（1）显示类型……………无闪烁计算机屏幕（全扫描速度时）

（2）显示器………………18.1”lcd（21”彩色 crt：可选）

（1280×1024画素）

（3）照片crt（附加）…超高分辨率类型

（有效观察区域为：120×90mm）

（4）扫描模式……………普通扫描

缩小区域范围

线扫描

点分析

平均浓度分析

分离/双 倍率画面

（5）扫描速度……………tv  （640×480画素：25/30图框/秒）

fast（全屏幕显示：25/30图框/秒）

slow（全屏幕显示：

1/0.9,4/3.3,20/16,40/32,80/64秒/图框）

（640×480画素显示：

0.5/0.4,2/1.7,10/8,20/16,40/32秒/图框）

for photograph（2560×1920画素显示

40/32,80/64,160/128,320/256秒/图框）

value of（50hz）/（60hz）

tv：nisc或pal信号制式

（6）信号处理模式……………… 自动亮度调节

gamma调节

自动聚焦

自动像散调整

（7）自动数据显示………………图像编号，加速电压，放大倍率

比例尺，比例尺寸数值，日期/时间和

工作距离，均可在照片上打印出来

（8）数据输入……………………通过键盘可将字母，数字和一些标记标示到影像上

（9）电子的影像移动…………………±12μm（工作距离=8mm）

6.真空系统

（1）系统的类型…………………全自动气动阀门系统

（2）最佳真空度…………………样品室(sc):2×10e-4pa

电子枪室  :

     ip-1：2×10e-7pa 或更佳

ip-2：2×10e-6pa或更佳

ip-3：5×10e-5pa或更佳

（3）真空泵………………………电子光学系统：3个ion离子泵浦

样品室（sc）：涡轮式分子泵浦

使用者可自行提供油旋转泵浦

（4）压缩机………………………使用者可自行提供少油或无油型压缩机

7.保护装置

警告装置……………………电源不良，冷却水中断，真空度不足

8.选配装置

（1）变压器

（2）冷却循环水槽

（3）空气压缩机

（4）ups不间断电源

（5）牛津eds，液氮型探头，接受面积30mm2

（6）镀金机e-104 + 镀碳机

（7）减速模式，降低对样品伤害，提高分辨率

（8）cd measurement测量软件

（9）hi-mouse软件